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膜厚测量仪
薄 膜 特 性 测 量 系 统
• 可快速测量膜层厚度及膜层反射率；
• 针对"透明膜"或"半透明膜"，可测量其厚度；
• 可测量"单层"或"最多三层"薄膜厚度；
• 系统可升级，进一步测量光学参数（n、k
  值）；或加电动扫描平台，由电脑控制，精
  确定点测量，并建立膜厚三维立体图；
• 非破坏性测量，不损伤镀膜表面；
• 测量速度快，在线性好，准确度高；
• 系统体积小，测量简单，携带方便；
NanoCalc膜厚测量仪
• 系统内建百余种"基底材料"和"镀膜材料"的光学参数（n、k值），使用者还可按实际需要自行输
  入/建立资料库；
• 系统组成：宽带光源、高性能光谱仪、光纤传感器、样品台、测量软件；
• 光谱式测量。测量原理为：利用光与膜的作用，测出各项参数。光学参数主要说明光在材料中传输
  与反射的特性。光谱式测量技术主要用来测量薄膜的厚度、光学参数等。光谱式测量具有高准确
  度、非破坏性及操作简单等突出优点。一旦知道了光学参数，更进一步可利用该参数与其它参数，
  测定出材料的成分。
• 特性参数
 规格型号  NanoCalc-2000膜厚测量仪
 厚度范围  10nm～70um（250um）
 厚度分辨率  1nm
 精度：（1um）  1%
 光斑大小  200～800um
 光谱范围  250～1100nm
 光谱分辨率  2nm分辨率
 入射角度  90°入射
 薄膜层数  < =3层
 膜层材料  波片、光学材料、塑料、金属箔、金属材料等
 透明膜  可以测透明膜
 透射测量  可以透射测量
 粗糙材料  可以测粗糙材料
 测量速度  100毫秒～1秒
 在线测量  可以在线测量
 显微镜匹配  可与显微镜匹配使用
 可视  可以显微观察，通过与显微镜匹配使用
 扫描测量  可以扫描测量，扫描直径6英寸或12英寸
 真空应用  可以在真空环境中使用，操作简单方便
可用于：在线和现场测量薄膜厚度，光学镀膜过程监控（如镀膜蒸发率监控等）
• 定购信息：
规格型号 波长范围 测量膜厚范围
NanoCalc-2000-VIS 400～850nm 50nm…20um
NanoCalc-2000-NIR 650～1100nm 70nm…70um
NanoCalc-2000-NIR-HR 700～978nm 1um…250um
NanoCalc-512-NIR 900～1700nm 50nm…200um
NanoCalc-2000-VIS/NIR 400～1100nm 50nm…100um
NanoCalc-2000-UV/VIS 250～850nm 10nm…20um
NanoCalc-2000-UV/VIS/NIR 250～1100nm 10nm…70um
• 可直接得到光学参数、n值（折射率）、k值
  （吸收率）及厚度，并可作在线即时测量；
• 可作各光学参数的整理归档，并以各种不同模
  式输出；
• 非接触式测量，不刮伤损坏测试样品；
• 体积小巧：由高性能的微型光纤光谱仪构成分
  光逐渐，体积小巧；
• 使用简单方便：由计算机控制测量，只需按一
  个按键，即可完成薄膜特性检测。
SpecEL分光椭偏仪
• 特性参数
 规格型号  SpecEI-2000分光椭偏仪
 厚度范围  1nm～5um
 厚度分辨率  0.1nm (1埃)
 精度：（1um）  < 1%
 光斑大小  2×4mm（可选：200×400um）
 光学参数  可得出：n（折射率）、k（吸收率）值
 折射率精度  0.005
 光谱范围  380～780nm（450～950nm）
 光谱分辨率  2 (4) nm
 入射角度  70°（75°）
 薄膜层数  > 3层
 参考测量  不需要参考，直接测量
 膜层材料  波片、光学材料等
 透明膜  可以测透明膜
 测量速度  3～15秒（典型10秒）
 样品定位最大允许误差  高度允许误差±3mm；光入射角允许±1°不需进行高度
 和倾斜角调整
 显微镜  可与显微镜匹配使用
 可视  可显微观察，与显微镜匹配使用
 扫描测量  可以扫描测量，扫描直径6英寸或12英寸
 真空应用  由用户自行选购后，可以在真空环境中使用
 SpecEL-V1.1  操作界面友好，使用简单的测量软件。测量膜厚、
 n值、k值、膜层结构编辑功能
可用于：在线过程监控或离线产品检测
　　　　　产 品 信 息 搜 索
 
　　　　　产 品 分 类
应用系统
　LED测试系统
　荧光光谱仪
　拉曼光谱仪
　气体监测系统
　Libs测量系统
　吸收测量系统
　膜厚测量仪
　椭偏仪
　等离子体监测仪器
 
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